镜面旋转对称法：同步辐射光学元件面形绝对检测的新进展

本文研究了同步辐射用光学元件面形的绝对检测方法，特别是针对镜面旋转对称三平板检测法的开发。这种方法基于菲佐干涉原理，菲佐干涉是一种精密的光波测量技术，它通过测量光波的干涉条纹来获取被测物体表面的形状信息。传统的绝对检测方法可能受到镜面非对称性的影响，而镜面旋转对称法则通过分解波前函数，将其对称和非对称部分区分开来。通过对N次镜面的旋转并取平均，可以有效消除非对称部分的影响，从而得到更精确的面形分布。 文章详细推导了如何利用镜面旋转对称法来测量矩形平面镜的面形，包括相应的公式和步骤。作者通过实际的高精度矩形平面镜测试实验，验证了这种方法的有效性和高精度。实验结果显示，与传统的三平板绝对测量方法相比，镜面旋转对称法在高度轮廓误差和斜率误差方面表现得更为优越，计算出的高度轮廓误差约为波长的五百分之一（λ/500，其中λ=632.8 nm），而斜率误差仅为0.93微弧度（μrad）。这些结果表明，镜面旋转对称三平板检测法在同步辐射光学元件的面形测量中具有显著的优势，能够提供更准确和稳定的测量数据，对于提高同步辐射设备的性能至关重要。 本文的研究不仅为同步辐射光学元件的绝对测量提供了一种新的、精确的方法，也为相关领域的仪器设计和科研工作提供了理论支持。通过优化测量技术，科学家们能够更好地控制和校准光学元件，从而提升同步辐射光源的性能，推动科学研究的前沿进展。同时，这项工作也展示了在光学测量领域，创新的检测手段和技术对提升实验精度和科学发现的重要性。