L-Edit版图设计教程：MEMS Pro应用解析

"该资源是关于MEMS Pro和L-Edit版图设计的教程，主要讲解如何使用L-Edit进行微电子机械系统（MEMS）的设计。内容包括版图设计的基本概念、L-Edit的工作流程、数据转换、3D模型创建，以及L-Edit的各种工具栏和界面元素的介绍。此外，还提到了版图设计的关键要点，如图形绘制、编辑对象的操作，以及在微小尺度下图形的精度问题。教程中还强调了L-Edit在微细加工和集成电路设计中的应用，并指出对用户的知识基础有一定要求，如微电子和微细加工的专业知识。" L-Edit版图设计是集成电路和MEMS设计中的一个重要环节，它提供了物理设计的图形表示，必须遵循制造工艺、设计规则以及性能仿真结果。版图设计不仅涉及器件本身，还涵盖了诸如微热驱动器、微梳齿谐振器、微马达、微陀螺仪、二维旋转镜和SDA驱动器等多种MEMS组件。L-Edit软件由Tanner公司开发，具备强大的设计、模拟验证、编辑和自动布局布线功能，适合个人或团队进行高效的设计工作。 L-Edit的工作流程包括了版图的创建、编辑、验证和输出等多个步骤。用户需要有一定的专业知识背景，如半导体集成电路知识和微加工工艺流程，以确保设计符合实际制造要求。软件界面包括菜单栏、标准工具栏、绘图工具栏、图层调色板、布局区域、验证工具栏、状态栏、MEMS Pro专用工具栏和命令行区域，这些工具栏提供了丰富的功能，便于用户操作。 在实际绘图过程中，用户通常先绘制图形，然后使用编辑工具进行调整。例如，可以通过"Editingobject"按钮将左上角的圆形调整为以坐标原点为中心，半径为15um的圆形。绘图工具栏则提供了绘制基本形状的能力，如矩形、三角形和圆形，但要注意，对于微米级别的小尺寸图形，尤其是圆环，可能因拟合误差导致输出效果不佳，特别是在转换为GDS或其他格式时。 为了应对这类问题，L-Edit提供了一个名为MEMSpro的专用工具栏，支持编辑制作工艺，创建3D模型，并绘制复杂的图形结构，如扇形梳状结构和正余弦曲线。用户还可以通过宏加载库中的预定义图形来提高设计效率。L-Edit是一款强大的工具，能够满足微电子和MEMS设计中的多样化需求。