子孔径拼接干涉测量精度评估与优化方法

"子孔径拼接干涉测量的精度估计方法" 光学测量是现代科技领域中的关键技术之一，尤其在高精度光学镜面的检测中，子孔径拼接干涉测量法扮演着重要角色。子孔径拼接干涉测量是将大口径镜面分割成多个小的子孔径，分别进行干涉测量，然后将各子孔径的数据拼接，以获得整个镜面的形状信息。这种方法能够克服单个测量设备口径限制，实现对大尺寸光学表面的精确评估。 精度估计是确保测量结果可靠性的关键步骤。文章提出了将子孔径拼接干涉测量结果与全口径测试结果进行对比实验，以此作为评估子孔径拼接测量精度的手段。全口径测试通常被认为是理想的真实值，但其几何参数与子孔径拼接测量不同，因此需要进行匹配处理。这里引入了最优匹配的概念，它基于子孔径拼接算法的原理，目的是找到两者间的最佳对应关系，从而减少误差。 文章详细讨论了如何计算拼接测量的精度评价指标，这些指标包括但不限于均方根误差（RMS）和最大偏差等。在最优匹配后计算这些指标，可以更准确地反映子孔径拼接干涉测量的精度。实验结果显示，采用最优匹配后的误差指标相比未匹配情况下降了约48%，这证实了所提出的方法在估计子孔径拼接测量精度方面的有效性。 子孔径拼接干涉测量的精度估计对于光学工程和自动化领域的研究至关重要，尤其是在精密工程、光学加工与检测技术中。该文的研究成果不仅有助于提高大口径光学镜面的测量精度，还有可能推动相关测量技术的发展，为未来的光学系统设计和制造提供更为可靠的测量支持。 关键词：光学测量，子孔径拼接，干涉测量，不确定度，对比实验 文章的发表得益于国家自然科学基金的支持，进一步强调了这项研究的科学价值和实际应用潜力。作者团队的研究工作不仅在理论上有所贡献，还通过实验验证了理论方法的有效性，为后续的相关研究提供了重要的参考依据。