SEMI标准合集包含了多个关键的半导体设备和材料国际(SEMI)通信和自动化规范,这些规范在现代工厂中起着至关重要的作用。以下是其中一些主要标准的详细解读:
1. **E4 - SEMI Equipment Communications Standard 1 (ECS1)**: 这是一个底层的串口点对点通信标准,用于设备之间的基本交互,确保了设备间数据的可靠传输。
2. **E5 - SEMI Equipment Communications Standard 2 (ECS2)**: 关注于消息内容,规定了设备状态报告、控制指令、物料管理、配方管理和异常处理等信息的数据格式,是设备间通信的核心组成部分。
3. **E30 - GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT**: 建立在E5的基础上,提供了一种通用模型,用于控制和通信的标准化,使得不同设备间的协作更加高效。
4. **E37 - HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION**: 转向了基于TCP/IP的高速通信,相比E4,它提升了通信速度和效率,适应了工业4.0和智能制造的需求。
5. **E40 - Standard for Processing Management**: 规定了特定物料加工的配方程序行为标准,确保了工艺流程的一致性和可追溯性。
6. **E116 - Equipment Performance Tracking**: 监控设备状态和性能,提供诊断功能,有助于维护和优化生产过程。
7. **E84 - Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface**: 关注于晶圆搬运,特别是AMHS(Advanced Manufacturing Handler System)中的物料运输,定义了并行输入/输出硬件通信接口的标准,提高了物料传输的效率。
8. **E87 - Specification For Carrier Management (CMS)**: 专注于协调carrier在设备间的进出管理,例如检验标识等,保证了设备操作的顺畅和安全性。
9. **E94 - Specification For Control Job Management**: 专为过程控制设计,确保任务的执行顺序和调度,提高了生产效率。
10. **E39 - Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service**: 定义了数据结构,并提供通用的对象读写服务,有助于构建模块化的系统架构。
根据买方公司的需求部署AMHS自动上下货机器人时,机台需要支持E84(并行IO硬件接口)和E87(carrier管理)的软硬件功能,以确保与无人工厂的无缝集成。这些标准不仅规范了设备间的通信,也涉及到了安全指南、硅材料与工艺控制以及物料的全程追踪,从而推动了整个半导体行业的标准化进程。