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半导体制造工艺中的主要设备及材料大盘点
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更新于2023-05-22
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本文首先介绍了半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了IC晶圆生产线的7个主要生产区域及所需设备和材料,详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。 一、半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料 半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(Middle-End)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。在这里,我们以为复杂的晶圆制造(前道)和传统封装(后道)工艺为例,说明制造过程的所需要的设备和材料。
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半导体制造工艺中的主要设备及材料大盘点半导体制造工艺中的主要设备及材料大盘点
本文首先介绍了半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了IC晶圆生产线的7个主要生产区域及所
需设备和材料,详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。 一、半导体制造工艺流
程及其需要的设备和材料 半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后
道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道
(Middle-End)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。在这里,
我们以为复杂的晶圆制造(前道)和传统封装(后道)工艺为例,说明制造过程的所需要的设备和材料。
本文首先介绍了半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了IC晶圆生产线的7个主要生产区域及所需设备和
材料,详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。
一、半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料 一、半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料
半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗
透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(Middle-End)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中
需要大量的半导体设备和材料。在这里,我们以为复杂的晶圆制造(前道)和传统封装(后道)工艺为例,说明制造过程的所
需要的设备和材料。
集成电路产业链
晶圆生产线可以分成7个独立的生产区域:扩散(Thermal Process)、光刻(Photo- lithography)、刻蚀(Etch)、离
子注入(Ion Implant)、薄膜生长(Dielectric DeposiTIon)、抛光(CMP)、金属化(MetalizaTIon)。这7个主要的生产区
和相关步骤以及测量等都是晶圆洁净厂房进行的。在这几个生产区都放置有若干种半导体设备,满足不同的需要。例如在光刻
区,除了光刻机之外,还会有配套的涂胶/显影和测量设备。


















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