单晶蓝宝石湿法刻蚀特性研究：晶体取向影响分析

"依赖晶体取向的蓝宝石湿法刻蚀特性研究" 这篇论文"依赖晶体取向的蓝宝石湿法刻蚀特性研究"由郭志越和幸研合作完成，首次探讨了单晶蓝宝石在特定化学溶液中的各向异性湿法刻蚀行为。文章指出，研究基于球形蓝宝石样品，利用浓硫酸与磷酸混合溶液（比例3:1）在236℃的条件下进行实验。通过对半球样品刻蚀前后的表面坐标点位移的精确测量，研究人员能够计算出不同晶体取向的刻蚀速率。 蓝宝石的晶体结构对其湿法刻蚀性能有显著影响。研究发现，c（0001）方向的刻蚀速率较高，特别是在三个<0001>晶向族方向，这里表现出最大的刻蚀活性。然而，对于蓝宝石的大多数其他晶体取向，其刻蚀速率相对较低，尤其是在赤道附近的取向，刻蚀速率几乎为零。这些发现揭示了蓝宝石湿法刻蚀过程中的显著各向异性特性。 刻蚀速率的数据对于预测蓝宝石的刻蚀轮廓至关重要，这在微纳制造领域，特别是针对蓝宝石衬底的图案化工艺设计和优化中具有重要意义。通过理解和掌握这种各向异性，工程师可以更精确地控制刻蚀过程，从而实现预期的微纳结构。 关键词涵盖了单晶蓝宝石、湿法刻蚀、各向异性、刻蚀速率以及半球样品，表明该研究深入到微观尺度的材料加工技术，并对微纳加工工艺及其表面质量控制，以及微纳工艺物理计算模型有着理论和实践价值。郭志越作为硕士研究生，专注于微纳系统制造工艺，而幸研博士作为导师，其研究方向侧重于微纳加工工艺和表面质量控制，他们的合作为这个领域的研究提供了新的见解和方法。