清华SSMB-EUV光源综述：原理与应用前景

本文是一篇由唐传祥和邓秀杰在2022年撰写的专业综述论文，标题为“2022关于清华SSMB-EUV光源原理的综述”。SSMB，即稳态微聚束加速器光源，是一种利用激光技术控制储存环中的电子，创造出具有精细时间和空间结构的微聚束，从而产生具有高平均功率和窄带宽的相干辐射。其辐射范围广泛，从太赫兹到软X射线，显示出巨大的科研和工业应用潜力。 论文首先概述了现有的两种主要加速器光源——同步辐射光源和自由电子激光的基本概念。同步辐射源自高速电子在电磁场中的偏转，自20世纪70年代起，通过专用的电子储存环实现，并发展出了四代光源设施，如北京同步辐射装置、合肥光源和上海光源，分别代表了第一代、第二代和第三代。 SSMB光源的核心原理是通过激光调控，使电子束在储存环中发生微聚束效应，利用其强相干性和高回旋频率优势，实现了与传统光源相比的重大突破。然而，实现这一技术面临核心物理挑战，如如何精确控制激光与电子束的相互作用，以及如何提高光源的稳定性和功率输出。 论文还重点介绍了清华大学的研究成果，即SSMB-EUV光源方案，该方案对于提升科学实验的精度，特别是极紫外光刻（EUV光刻）领域的应用具有革命性的影响。EUV光刻是现代芯片制造的关键技术，SSMB光源可能为这一领域带来更高的分辨率和更高效的光刻工艺。 这篇综述为国内读者提供了深入理解SSMB光源原理、验证实验进展以及其在国内科研和产业中的应用前景的重要参考。通过阅读这篇论文，读者可以了解到我国在这一前沿科技领域的创新贡献以及未来发展的趋势。