SEMI标准与SECS通信接口详解：SECSI, SECSII, GEM, HSMS

"Block组成-SECSI_SECSII_HSMS_GEM讲解" SEMI, 全称为Semiconductor Equipment and Materials International，是一个国际性的组织，专注于半导体设备与材料产业的发展。它涉及多个领域，如设备自动化硬件、软件、设施、平板显示、气体、材料、微光刻、封装、过程化学、安全指南、硅材料与过程控制、追溯性等。 在SEMI的标准中，SECS（ Semiconductor Equipment Communication Standard）扮演着关键角色，它是半导体设备与主机之间通信的规范。SECS包括了几个不同的版本：SECSI（E4）、SECSII（E5）、GEM（E30）以及HSMS（E37）。 SECSII（E5）是SECS的第二代，用于设备与主机间的数据交换。GEM（Equipment Control Model）是设备自动化软件的标准，它定义了主机系统如何控制和监控半导体生产设备。HSMS（Host-System Message Service）则提供了更高层的消息服务，允许更复杂的通信结构。 SECI，即SECS I，定义了物理接口，包括9针或25针连接器、电平信号、9600bps的传输速率以及消息交换的逻辑协议。数据传输时，每个单元由10个bit组成，其中0和9位是开始和结束信号，1-8位是实际数据。 逻辑传输单位，即Block，由三部分组成：接收结束标记（Receive EOT）、Block长度（10到254字节）、Block内容（最多244字节）以及2字节的校验和。Block长度首先被发送，然后是Block的数据，最后是校验码，以确保数据传输的准确性。 Block的头部（Header）定义在E5标准中，包含了Upper Device ID、System Byte、Lower Device ID、Upper Message ID、Lower Message ID、Upper Block No.、Lower Block No.、两个System Byte以及R、W和E标志位。这些标识符和标志用于识别设备身份、消息类型和方向（0表示主机设备，1表示设备设备）。R、W和E分别代表Read、Write和Error状态。 SECSII、GEM和HSMS是半导体制造业自动化的核心通信协议，它们定义了设备与主机之间的信息交换，确保了生产流程的高效和精确。理解并熟练应用这些标准对于半导体设备的开发者和操作者至关重要。