书书书
激光与光电子学进展
48
,
051402
(
2011
)
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○
C
2011
《中国激光》杂志社
飞秒激光直写太赫兹波段二维金属亚波长孔阵列
汪月容
李
毅
何书通
毛鹏程
胡明列
(天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津
300072
)
摘要
利用中心波长为
775nm
、重复频率为
1kHz
、脉宽为
130fs
的飞秒激光脉冲对厚度为
200
μ
m
的铜片进行微
加工,制作了适用于太赫兹(
THz
)波段(
0.1
~
4THz
)的二 维 金属亚 波 长孔阵 列。实验 中,分 别 固 定 激 光 能 量 和 加
工时间,研究烧蚀孔直径随激光功率及加工时间的变 化规 律,发 现 激 光 偏 振 态 是 引 起 烧 蚀 缺 口 的 主 要 原 因。利用
数值模拟软件(
CST
)计算出适用于
THz
波段的金属孔阵列结构参数,根据以上实验结果选择合适的激光参数制作
了孔阵列。
关键词
激光技术;飞秒激光微纳加工;打孔;二维金属亚波长孔阵列
中图分类号
TN249
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
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140.3390
;
140.7090
;
320.2250
收稿日期:
20101210
;收到修改稿日期:
20101223
基金项目:国家大学生创新性实验计划项目(
081005607
)资助课题。
作者简介:汪月容(
1988
—),女,硕士研究生,主要从事飞秒激光微纳加工方面的研究。
Email
:
wan
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r99
@
t
j
u.edu.cn
作者简介:胡明列(
1978
—),男,教授,博士生导师,主要从事光子晶体光纤及超短脉冲激光技术等方面的研究。
Email
:
humin
g
lie
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t
j
u.edu.cn
1
引
言
二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(
TDMSHA
)
[
1
]
的增 强透 射与 滤波 特性 具
有重要的应用前景,如近场光学成像
[
2
]
、制作
TDMSHA
生物与化学传感器
[
3
]
等,从 而引 起研 究者 极大 的兴
趣,其中以
T.W.Ebbesen
为首的研究小组在理论
[
4
~
6
]
和实践
[
7
~
9
]
两方面都做出了大量富有成果的研究,本
课题组在增强透射现象产生机理方面
[
10
]
也作了大量工作。传统的
TDMSHA
制作采用光刻蚀技术
[
11
,
12
]
,需
要借助光致抗蚀剂、模版曝光和腐蚀洗涤等一系列光刻程序,非常复杂且自由度相对较低。激光直接刻写技
术具有快速成型且可自由设计等优势
[
13
]
,可随时根据实验需要对微孔结构进行调整和再加工,相 对要 简单
0514021