NF3完整的chemkin反应机理

NF3的完整化学反应机理如下：

1. NF3 + F → NF4 (快速反应)
2. NF3 + O → NF2 + OF (慢速反应)
3. NF2 + F → NF3 (快速反应)
4. NF2 + O → NO + NF (慢速反应)
5. NF + F → NF2 (快速反应)
6. NF + O → NO + F (快速反应)
7. NF + NF → N2 + F2 (快速反应)
8. NF + NO → N2 + OF (快速反应)
9. NO + F → NOF (快速反应)
10. NO + NF → N2 + OF (快速反应)
11. NOF + NF → N2 + OF2 (慢速反应)
12. NOF + F → NO + F2 (慢速反应)
13. NOF + O → NO + OF (慢速反应)

其中，快速反应的速率常数为10^14-10^15 cm^3/mol·s，慢速反应的速率常数为10^11-10^12 cm^3/mol·s。反应1、3、5、6、7、8、9、10为氟离子的参与反应，反应2、4、11、12、13为氧参与反应。

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NF3详细chemkin反应机理

NF3的chemkin反应机理如下：

1. NF3 + O2 = FNO + NO2

2. FNO + O = NO + OF

3. FNO + F = NF + OF

4. NF3 + F = NF2 + F2

5. NF3 + H = NF2 + HF

6. NF3 + OH = NF2 + H2O

7. NF3 + NH2 = NF2 + NH3

8. NF3 + NH = NF2 + NH2

9. NF3 + N = NF2 + N2

10. NF3 + H2 = NF2 + 2HF

11. NF3 + H2O = NF2 + 2HF + O2

12. NF3 + NH3 = NF2 + 2HF + N2

13. NF2 + F = NF + F2

14. NF2 + H = NF + H2

15. NF2 + OH = NF + H2O

16. NF2 + NH2 = NF + NH3

17. NF2 + NH = NF + NH2

18. NF2 + N = NF + N2

19. NF2 + H2 = NF + 2HF

20. NF2 + H2O = NF + 2HF + O2

21. NF2 + NH3 = NF + 2HF + N2

22. NF + F = NF2

23. NF + H = NF2 + H2

24. NF + OH = NF2 + H2O

25. NF + NH2 = NF2 + NH3

26. NF + NH = NF2 + NH2

27. NF + N = NF2 + N2

28. NF + H2 = NF2 + HF

29. NF + H2O = NF2 + HF + O2

30. NF + NH3 = NF2 + HF + N2

注：以上反应机理仅供参考，实际反应机理可能更加复杂。

NF3的chemkin反应机理

NF3的chemkin反应机理如下：

反应1：NF3 + F → NF4

反应2：NF3 + O → NF2 + FO

反应3：NF3 + O2 → NF2 + O3

反应4：NF3 + H → NF2 + HF

反应5：NF3 + H2 → NF2 + 2HF

反应6：NF3 + NH3 → N2F4 + H2

反应7：NF3 + N2 → N2F4

反应8：NF3 + CF4 → CF3F + NF4

反应9：NF3 + SF6 → SF4 + NF4

反应10：NF3 + SiH4 → SiF4 + NH4

反应11：NF3 + H2O → NH4F + O2

反应12：NF3 + CO2 → NF4 + CO

反应13：NF3 + CH4 → CF4 + NH4

反应14：NF3 + C2H6 → C2F6 + NH4

反应15：NF3 + C2H4 → C2F4 + NH4

反应16：NF3 + C2H2 → C2F2 + NH4

其中，NF4为四氟化氮，NF2为二氟化氮，FO为氟氧化物，HF为氢氟酸，N2F4为四氟化二氮，CF3F为三氟甲基氟，SF4为四氟化硫，SiF4为四氟化硅，NH4F为氟化铵，CO为一氧化碳，C2F6为六氟化二碳，C2F4为四氟乙烯，C2F2为二氟乙炔。