NF3的chemkin的inp机理

以下是NF3的chemkin的inp机理示例：

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ELEMENTS
F N

SPECIES
F F2 NF NF2 NF3

REACTIONS
! NF3 formation
NF + F2 => NF3 + F 2.2E+16 0 14000 0 0
! NF3 dissociation
NF3 => NF + F2 8.7E+15 0 10000 0 0
! NF2 + F2 <=> NF3 + F 1.8E+13 0.5 0 0 0
! NF3 + F <=> NF2 + F2 1.8E+14 0 0 0 0

END

其中，ELEMENTS定义元素，SPECIES定义物种，REACTIONS定义反应。每个反应都有反应方程式、速率常数和活化能等参数。

相关问题

NF3 的chemkin机理

NF3的Chemkin机理包括以下反应：

1. NF3 + M → NF2 + F + M

2. NF2 + F → NF3

3. NF2 + NF2 → N2F4

4. N2F4 + F → 2NF3

5. N2F4 + 2F → N2 + 4F2

6. NF3 + O → NF2 + FO

7. NF2 + O → NF + O2

8. NF + O2 → NO + F

9. NF3 + H → NF2 + HF

10. NF2 + H → NF + H2

11. NF + H → NH + F

12. NH + F → NF + H2

13. NF3 + NH3 → N2F4 + 3HF

14. N2F4 + 4H → NF3 + 2NH3

15. NF3 + OH → NF2 + H2O

16. NF2 + OH → NF + H2O

17. NF + OH → NO + HF

18. NF3 + NO → N2F4 + O2

19. N2F4 + NO → NF3 + NO2

20. NF3 + NO2 → N2F4 + O3

21. N2F4 + O3 → 2NF3 + O2

其中，M代表任意稀释气体。

NF3的chemkin反应机理

NF3的chemkin反应机理如下：

反应1：NF3 + F → NF4

反应2：NF3 + O → NF2 + FO

反应3：NF3 + O2 → NF2 + O3

反应4：NF3 + H → NF2 + HF

反应5：NF3 + H2 → NF2 + 2HF

反应6：NF3 + NH3 → N2F4 + H2

反应7：NF3 + N2 → N2F4

反应8：NF3 + CF4 → CF3F + NF4

反应9：NF3 + SF6 → SF4 + NF4

反应10：NF3 + SiH4 → SiF4 + NH4

反应11：NF3 + H2O → NH4F + O2

反应12：NF3 + CO2 → NF4 + CO

反应13：NF3 + CH4 → CF4 + NH4

反应14：NF3 + C2H6 → C2F6 + NH4

反应15：NF3 + C2H4 → C2F4 + NH4

反应16：NF3 + C2H2 → C2F2 + NH4

其中，NF4为四氟化氮，NF2为二氟化氮，FO为氟氧化物，HF为氢氟酸，N2F4为四氟化二氮，CF3F为三氟甲基氟，SF4为四氟化硫，SiF4为四氟化硅，NH4F为氟化铵，CO为一氧化碳，C2F6为六氟化二碳，C2F4为四氟乙烯，C2F2为二氟乙炔。