NF3的chemkin的inp机理

以下是NF3的chemkin的inp机理示例：

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ELEMENTS
F N

SPECIES
F F2 NF NF2 NF3

REACTIONS
! NF3 formation
NF + F2 => NF3 + F 2.2E+16 0 14000 0 0
! NF3 dissociation
NF3 => NF + F2 8.7E+15 0 10000 0 0
! NF2 + F2 <=> NF3 + F 1.8E+13 0.5 0 0 0
! NF3 + F <=> NF2 + F2 1.8E+14 0 0 0 0

END

其中，ELEMENTS定义元素，SPECIES定义物种，REACTIONS定义反应。每个反应都有反应方程式、速率常数和活化能等参数。