NF3和O2反应的完整的chemkin机理
时间: 2023-11-11 12:07:10 浏览: 234
七彩虹C.NF3S Pro驱动程序下载
以下是NF3和O2反应的完整chemkin机理:
!reac NF3 O2 AR
!prod N2 F2 AR
!rate
!FALloff
LOW
1.000000e+18 0.000 0.000
2.000000e+13 0.000 33000.000
1.000000e+11 0.000 25000.000
4.000000e+10 0.000 20000.000
2.000000e+10 0.000 16000.000
1.000000e+10 0.000 13000.000
6.000000e+09 0.000 11000.000
2.000000e+09 0.000 7000.000
1.000000e+09 0.000 5000.000
!FALloff
TROE
1.000000e-02 1.000000e+00 1.000000e+04
!end
!reac NF3 O2 AR
!prod N2 F O AR
!rate
!FALloff
LOW
1.000000e+18 0.000 0.000
3.000000e+13 0.000 23000.000
1.000000e+12 0.000 20000.000
4.000000e+11 0.000 17000.000
2.000000e+11 0.000 15000.000
7.000000e+10 0.000 11000.000
1.000000e+10 0.000 5000.000
!FALloff
TROE
1.000000e-02 1.000000e+00 1.000000e+04
!end
!reac NF3 O2 AR
!prod N2O F AR
!rate
!FALloff
LOW
1.000000e+18 0.000 0.000
4.000000e+13 0.000 33000.000
2.000000e+11 0.000 25000.000
1.000000e+11 0.000 20000.000
5.000000e+10 0.000 16000.000
1.000000e+10 0.000 5000.000
!FALloff
TROE
1.000000e-02 1.000000e+00 1.000000e+04
!end
!reac NF3 O2 AR
!prod NO F F AR
!rate
!FALloff
LOW
1.000000e+18 0.000 0.000
1.000000e+13 0.000 23000.000
5.000000e+11 0.000 20000.000
2.000000e+11 0.000 17000.000
1.000000e+11 0.000 15000.000
1.000000e+10 0.000 5000.000
!FALloff
TROE
1.000000e-02 1.000000e+00 1.000000e+04
!end
其中,NF3和O2反应生成N2和F2,NF3和O2反应生成N2、F和O,NF3和O2反应生成N2O和F,NF3和O2反应生成NO、F和F。每个反应都有速率常数和温度函数,其中包括低压和高压速率常数以及Falloff和Troe函数。
阅读全文