Fizeau干涉仪实现平面高精度绝对标定

"这篇论文探讨了高精度平面绝对标定的方法，主要关注如何解决平面的power项绝对标定的问题。传统的平面绝对标定方法，如三平板绝对检测和旋转平移绝对检测，无法准确标定平面的power项。液面标定虽能提供全面的平面信息，但其受环境因素影响大，导致标定精度受限。为解决这个问题，研究者利用Fizeau干涉仪，结合液面方法和旋转平移绝对标定技术，实现了对平面power项的单独精确标定以及对其他Zernike项的标定，从而获得整体的高精度平面绝对标定结果，显著提升了干涉仪的检测精度。该方法在高精度面形检测领域具有重要意义。" 本文详细阐述了在高精度面形检测中，绝对标定对于提高检测精度的关键作用。传统的平面绝对标定技术，如经典的三平板绝对检测，其原理是通过比较三个平面的相对位置来确定被测平面的形状，但这种方法无法标定出平面的power项，即曲率相关的参数。同样，旋转平移绝对检测虽然能够标定某些Zernike项，但对power项的标定也是无能为力。 液面绝对标定作为一种替代方法，能够提供平面的全面信息，包括power项。然而，由于液面容易受到温度、气压等环境因素的影响，其标定的重复性和稳定性往往不佳，这限制了其标定精度。为克服这些限制，研究人员引入了Fizeau干涉仪，这是一种利用干涉原理对光学表面进行非接触测量的精密仪器。通过Fizeau干涉仪，他们单独对平面的power项进行了绝对标定，确保了这一关键参数的准确性。 同时，结合旋转平移绝对标定技术，对平面的其他Zernike项进行标定，Zernike多项式是一种常用的描述光学表面形状的数学表达方式，可以覆盖多种形状误差。通过这两种方法的结合，研究人员成功地实现了对平面的完整高精度标定，不仅提升了power项的标定精度，也确保了其他形状误差的准确测量，从而极大地提高了干涉仪的整体检测精度。 这篇论文的贡献在于提出了一种创新的标定策略，它有效地解决了平面power项的标定难题，并且提高了干涉仪的性能，这对于依赖高精度检测的领域，如精密光学制造、航空航天、半导体制造等，具有重要的实践价值。同时，这种方法也对未来的绝对标定技术发展提供了新的思路。关键词涵盖了测量技术、面形检测、绝对标定、液面标定以及旋转平移绝对标定，这些都是本研究的核心概念。