BP212 光刻工艺：
1) 光刻前要将胶拿出来置于清洗台烘箱活化 2 个小时——提前打开烘箱以及拿出光
刻胶；
2) 涂胶前将玻璃片置入等于离子去胶机里面活化 10 分钟，冷却 10 分钟——冷却后
使用，不得超过 1 个小时；
3) 涂胶先点增黏剂，大约一管偏少，然后甩胶。再点 BP212 胶，约一管半。
4) 上升时间：10s, 下降时间：5s，匀胶时间：30s。速度：1800 转/分（预计
1.8um 的厚度）。
5) 前烘，95℃热板上烘烤 4 分钟。
6) 对准，根据圆片边缘定位，利用条形对准标进行对准。
7) 曝光：15 秒（可能与掩膜版有关，透光率不够），显影：60 秒。显微镜观测光
刻胶是否去除干净。
8) 135℃烘箱坚膜 30min ，冷却待测。
9) 台阶测量上、下、左、右的光刻胶厚度，是否达到要求。
评论0