基于应变感测的微型拾取阵列枢转安装件设计及制作方法

微型拾取阵列枢转安装件设计的制作方法 本资源摘要信息介绍了用于应变放大的微型拾取阵列枢转安装件设计的制作方法。这是一种技术领域实施计划，涉及对准系统。该计划实施涉及具实用于将静电转移头阵列与目标衬底对准的集成应变感测元件的微型拾取阵列枢转安装件。 技术实现要素： 1. 枢转安装件设计：枢转安装件包括枢转平台、基座、主弹簧臂、次弹簧臂以及沿着次弹簧臂的应变感测元件。主弹簧臂和次弹簧臂的相对刚度可通过调节弹簧臂设计的长度、宽度或者厚度来挑选。 2. 枢转安装件的材料选择：主弹簧臂和次弹簧臂由相同的材料形成，例如，硅衬底。 3. 次弹簧臂的设计：次弹簧臂沿着其轴长度具有比主弹簧臂小的平均厚度。这样相对刚度可通过调整弹簧臂的厚度来挑选。 4. 枢转安装件的调整：主弹簧臂和次弹簧臂的相对刚度通过挑选性地蚀刻次弹簧臂来调整或添加具有区别特征的一个或多个层来调整。 5. 应变感测元件的设计：第一应变感测元件在第一梁段处，并且其次应变感测元件在其次梁段处。第一参考计量器和其次参考计量器还可位于邻近第一梁段处的第一应变感测元件和其次梁段处的其次应变感测元件。 知识点： 1. 微型拾取阵列枢转安装件设计：微型拾取阵列枢转安装件是一种用于应变放大的微型器件，涉及对准系统。 2. 静电转移头阵列与目标衬底对准：微型拾取阵列枢转安装件可以将静电转移头阵列与目标衬底对准。 3. 集成应变感测元件：微型拾取阵列枢转安装件包括集成应变感测元件，用于检测微型器件的应变。 4. 枢转安装件的设计要素：枢转安装件的设计要素包括枢转平台、基座、主弹簧臂、次弹簧臂、应变感测元件等。 5. 微型器件创造工艺：微型器件创造工艺通常包括将微型器件从一个晶片转移到另一个晶片的工艺。 本资源摘要信息介绍了微型拾取阵列枢转安装件设计的制作方法，涉及对准系统、静电转移头阵列与目标衬底对准、集成应变感测元件等技术。