优化磁控溅射AZO薄膜：Ar气工艺条件的实验与模拟研究

磁控溅射掺铝氧化锌薄膜的Ar气工艺条件研究是一项重要的技术探索，由宋瑞良、刘玮和孙云共同完成，发表于中国科技论文在线。该研究聚焦于大面积太阳能薄膜电池工业生产的关键工艺——磁控溅射技术中的AZO（掺铝氧化锌）透明导电膜制备。他们发现，在使用不同Ar气进气方式的溅射过程中，AZO薄膜的厚度呈现出非均匀性，即薄膜中心区域较厚，两侧较薄。这种不均匀性与Ar气在靶表面的压强分布不均衡有关。 Ar气的进气方式以及进气管的遮挡程度都会影响薄膜厚度的峰值分布，这表明工艺参数的选择和控制对于薄膜质量的均匀性具有显著影响。研究团队通过对实验数据的细致观察和数值模拟，深入剖析了这一现象的物理机制，揭示了气体流动、压力分布与溅射过程之间的相互作用，为优化溅射镀膜工艺提供了理论依据。 这项研究不仅关注于基础科学原理，还着重于实际应用，旨在提高大面积太阳能薄膜电池的生产工艺效率和产品质量。宋瑞良作为工程师，他的研究方向主要集中在化合物半导体器件和工艺上，而刘玮作为副教授，则专注于光伏薄膜材料及器件的研究。他们的合作展示了跨学科的协作在推动科技进步中的重要作用。 关键词包括磁控溅射（Magnetron Sputtering）、流体模型（Fluid Dynamics）、氧化锌（Zinc Oxide），以及论文的中图分类号TN305.92，这表明研究内容属于物理学和技术工程领域，具体涉及薄膜技术中的气体动力学控制。 通过这篇首发论文，研究者们希望为磁控溅射技术的发展提供新的见解，推动太阳能薄膜电池制造行业的进步，为未来的绿色能源技术做出贡献。