深圳大学微纳光电子研究所：突破与应用

深圳大学微纳光电子技术研究所的研究工作集中在微纳光电子技术这一前沿领域，该领域结合了电子学、光学、材料科学以及微纳制造技术，推动了光电子器件的精密化进程。微纳光学器件是研究的核心部分，包括凸微透镜阵列和凹微透镜阵列，这些器件利用光衍射原理实现小型化、定制化波前设计和多功能集成，如昆虫复眼结构，展示了独特的性能优势。 硅基光电器件则是研究的重要方向，如CMOS图像传感器被广泛应用于手机摄像头和数字单反照相机中，体现了微纳技术在消费电子产品中的实际应用。课题组在二元光学元件方面取得了显著突破，如深入研究了制作误差与射效率的关系，创立了解析表达式，并开发了模拟软件，以优化元件性能。他们还发展了一种新型深蚀刻技术，能制造具有焦距缩短、高相对孔径和高能量密度等特性的一类元件，例如正负二元光学微透镜列阵，这项技术支持高速、灵活且无像差的扫描，对于微细加工有着重要价值。 深蚀刻二元光学元件的特性进一步得到探索，如焦距缩短效应使其在光学设计中展现出优势，而高相对孔径则提升了元件的光学性能。此外，高能量密度和高深宽比的特性使得这些元件在特定应用中表现出卓越的性能。研究团队不仅理论研究深入，还通过实践创新，如设计制作出适用于微细加工准分子激光曝光照明系统的深蚀刻二元光学均匀器，这体现了他们在微纳光电子技术领域的扎实基础和创新能力。 总结起来，深圳大学微纳光电子技术研究所的研究工作不仅推进了微纳光电子技术的发展，还在光学元件的制作精度、设计灵活性以及实际应用上实现了重要突破，为下一代信息技术的创新和产业发展做出了贡献。