3.1.2 外延工艺种类
按材料划分：同质外延和异质外延
按工艺方法划分：气相外延（ VPE) ，液相外延 (LVP) ，
固相外延 (SPE) ，分子束外延（ MBE)
按温度划分：高温外延 (1000℃ 以上 ) ；低温外延 (1
000℃ 以下 ) ；变温外延 -- 先低温下成核，再高温下
生长外延层
按电阻率高低划分：正外延 -- 低阻衬底上外延高阻层；
反外延 -- 高阻衬底上外延低阻层
按外延层结构分类 : 普通外延，选择外延，多层外延
其它划分方法：按结构划分；按外延层厚度划分等
气相外延工艺成熟，可很好
的控制薄膜厚度，杂质浓度
和晶格的完整性，在硅工艺
中一直占主导地位
评论0