如何在Sentaurus Workbench中使用Ligament进行参数化的工艺流程模拟？请提供具体步骤和关键操作。

Sentaurus Workbench和Ligament是Sentaurus TCAD工具集的重要组成部分，它们允许用户进行参数化的工艺流程模拟。首先，确保你已经安装了《Sentaurus TCAD工具使用入门教程》中提到的软件工具集，并熟悉Sentaurus Workbench的基本操作。

参考资源链接：[Sentaurus TCAD工具使用入门教程](https://wenku.csdn.net/doc/2c32dr1fk5?spm=1055.2569.3001.10343)

在Sentaurus Workbench中使用Ligament进行参数化模拟的关键步骤包括：
1. 打开Sentaurus Workbench，创建一个新的项目，并选择合适的工作目录。
2. 在工具栏中选择Ligament，然后在弹出的Ligament工具对话框中配置工艺流程的步骤。
3. 使用Ligament的流程编辑器来编写或导入工艺流程文件（.lgn）。在这个过程中，可以定义参数化变量，例如温度、掺杂浓度等，以便于后续调整。
4. 利用Ligament的版图编辑器设计或导入所需的版图结构，设置模拟区域和边界条件。
5. 在Sentaurus Workbench中配置好其他相关的模拟工具，例如Sentaurus Process和Sentaurus Device，以确保它们可以在工作流中正确调用。
6. 使用Ligament的语法检查功能来验证工艺流程的正确性。
7. 运行整个流程，Sentaurus Workbench会根据Ligament中设定的参数化变量和版图结构，自动执行各个模拟工具，并收集输出结果。
8. 使用Tecplot SV或其他可视化工具来分析模拟结果，这些结果通常会以图形或数据表格的形式展示。
9. 根据分析结果调整参数化变量，进行多轮模拟以优化工艺流程。
10. 最后，使用Inspect工具深入检查和分析模拟结果，确保模拟的准确性和可靠性。
通过以上步骤，你可以在Sentaurus Workbench中使用Ligament进行参数化的工艺流程模拟。更多深入的使用技巧和高级功能，建议参考《Sentaurus TCAD工具使用入门教程》，该教程提供了完整的Sentaurus工具使用指导和案例分析，有助于你更好地理解和掌握Sentaurus TCAD在工艺和器件模拟中的应用。

参考资源链接：[Sentaurus TCAD工具使用入门教程](https://wenku.csdn.net/doc/2c32dr1fk5?spm=1055.2569.3001.10343)