文章编号
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微细笔直写聚合物条形光波导的研究
李金洪
-
董林红
-
王泽敏
-
许德胜
-
朱大庆
-
曾晓雁
’
华中科技大学 光电子科学与工程学院
-
武汉光电国家实验室
-
武汉
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摘 要
!
提出一种采用微细笔直写技术直写聚合物光波导的简便方法
-
利用该技术成功直写出
了氟化聚酰胺条形光波导
-
并着重研究了气体压力和直写速度对波导宽度的影响规律
.
实验结果
表明
!
直写获得的条形波导的边缘整齐
/
表面光滑
-
而且不存在小孔等缺陷或杂质
.
当其他工艺参
数不变的情况下
-
波导宽度随着气体压力的增加而增大
-
随着直写速度的增大而减小
.
微细笔直写
获得的条形光波导成功地实现了通光
-
在波长为
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12
处的最小传输损耗为
#304
56
7
82
.
关键词
!
集成光学
9
聚合物光波导
9
直写技术
9
微细笔
中图分类号
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文献标志码
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引言
聚合物光波导的传统制作方法很多
-
如反应离
子刻蚀
/
光漂白法
/
离子注入法和模压成型工艺等
.
这些方法具有工艺流程复杂
/
制作周期长
/
效率低
等缺点
-
而且所设计的波导一经定型
-
就难以进行
修正
-
如果出现设计或加工错误
-
就需要重新制作
新的掩模板
-
按照标准的工艺过程重新加工
-
从而
额外增加了成本
.
因此近年来
-
人们在不断探索柔
性化制造光波导的新方法和新工艺
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.
直写技术
’
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是近年 来在加工 制
造领域里倍受人们关注的一种快速制造技术
.
与传
统方法相比
-
它具有以下一些特点
!
无需任何掩模
-
柔性化 程度高
9
加工精 度高
-
速度快
9
可靠性 程度
高
9
成本低
9
适用材料的范围广泛
.
利用直写技术
-
收稿日期
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修回日期
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基金项目
!
国家高技术研究发展计划
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国家自然科学基金
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作者简介
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李金洪
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男
-
四川汉源人
-
硕士研究生
-
主要从事激光微制造微电子器件的研究
.
联系人曾晓雁
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81
第
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卷 第
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期
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年
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月
应 用 光 学
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